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製品詳細
セラミックスプリットスリーブ
半導体ウェーハおよびウェーハ処理、半導体製造、半導体パッケージングを含む
• 超高寸法精度
• 高い物理的強度
• 優れた耐摩耗性
• 良好な耐老化性能
• 強い信号透過性、多様な色、滑らかな手触り
• 超高寸法精度
• 高い物理的強度
• 優れた耐摩耗性
• 良好な耐老化性能
• 強い信号透過性、多様な色、滑らかな手触り
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特性 |
単位 |
アルミナセラミックス |
ジルコニアセラミックス |
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99.7%酸化アルミニウム |
99%酸化アルミニウム |
96%酸化アルミニウム |
白色ジルコニア ZrO2-3Y |
黒色ジルコニア ZrO2-3Y |
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密度 |
g/cm3 |
≧3.92 |
≧3.88 |
≧3.65 |
≧6.0 |
≧6.0 |
|
色 |
/ |
アイボリー |
アイボリー |
白 |
アイボリー |
黒 |
|
曲げ強度 |
MPa |
≧600 |
≧600 |
≧300 |
≧1000 |
≧800 |
|
ビッカース硬度 |
HV |
2000 |
1800 |
1400 |
1200 |
1200 |
|
弾性率 |
GPa |
200 |
200 |
200 |
/ |
/ |
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熱伝導率 |
W/m.k |
30 |
30 |
18 |
/ |
/ |
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特性 |
単位 |
ジルコニア強化アルミナセラミックス |
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10%ジルコニア強化アルミナ |
20%ジルコニア強化アルミナ |
ジルコニア強化ルビー |
40%ジルコニア強化アルミナ |
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密度 |
g/cm3 |
≧4.0 |
≧4.25 |
≧4.25 |
≧4.8 |
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|
色 |
|
白 |
白 |
ピンク |
白 |
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曲げ強度 |
MPa |
≧700 |
≧800 |
≧800 |
≧800 |
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ビッカース硬度 |
HV |
2000 |
1800 |
1800 |
1500 |
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弾性率 |
GPa |
/ |
/ |
/ |
/ |
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熱伝導率 |
W/m.k |
/ |
/ |
/ |
/ |
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