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セラミックスプリットスリーブ
セラミックスプリットスリーブ
セラミックスプリットスリーブ
セラミックスプリットスリーブ
セラミックスプリットスリーブ
セラミックスプリットスリーブ

セラミックスプリットスリーブ

半導体ウェハーおよびウェハー加工、半導体製造および半導体パッケージングを含む
• 超高次元精度
• 高い体力
• 優れた耐摩耗性
• 優れたアンチエイジング性能
・強い信号透過性、多彩な色、滑らかな手触り

特徴的

部隊

アルミナセラミックス

ジルコニアセラミックス

酸化アルミニウム99.7%

99%酸化アルミニウム

96%酸化アルミニウム

白ジルコニア ZrO2-3Y

黒ジルコニア ZrO2-3Y

密度

g/cm3

≧3.92

≧3.88

≧3.65

≧6.0

≧6.0

カラー

/

象牙

象牙

白い

象牙

曲げ強度

MPa

≧600

≧600

≧300

≧1000

≧800

ビッカース硬さ

HV

2000

1800

1400

1200

1200

弾性率

GPa

200

200

200

/

/

熱伝導率

W/m.k

30

30

18

/

/

 

 

 

 

 

 

 

特徴的

部隊

ジルコニア強化アルミナセラミックス

 

10%ジルコニア強化アルミナ

20%ジルコニア強化アルミナ

ジルコニア・ターテンドルビー

40%ジルコニア強化アルミナ

 

密度

g/cm3

≧4.0

≧4.25

≧4.25

≧4.8

 

カラー

 

白い

白い

ピンク

白い

 

曲げ強度

MPa

≧700

≧800

≧800

≧800

 

ビッカース硬さ

HV

2000

1800

1800

1500

 

弾性率

GPa

/

/

/

/

 

熱伝導率

W/m.k

/

/

/

/